Зонд А-5. Vito-technics,ru
Зонд А-5. Vito-technics,ru
Зонд А-5. Vito-technics,ru
Зонд А-5. Vito-technics,ru

Назначение.

Зонд предназначен для контактирования при межоперационном контроле параметров интегральных микроструктур и полупроводниковых приборов на полупроводниковой подложке с минимальным размером контактной площадки 80×80 мкм.

Зонд рассчитан на эксплуатацию в помещении, отвечающем требованиям, предусмотренным, для категории размещения по ГОСТ 15150–69,при температурах от 18˚С до 25 ˚С.

Питание автомата осуществляется от сети переменного тока напряжением 220В, с частотой 50Гц. К зонду должна подводиться вакуумная магистраль с абсолютным давлением не более 33300 Па (250 мм. рт. ст.) Для размещения зонда на месте его эксплуатации необходима площадь 0,35 м² и наличие заземления.

                                   

Технические данные.

 1. Габаритные размеры зонда не более, мм. L=650, В=690, Н=580.                    

 2. Масса зонда не более 30 кг

 3. Максимальная скорость перемещения предметного стола, менее 40 мм/с.

 4. Количество устанавливаемых головок на зонде 10 шт.

 5. Количество маркеров устанавливаемых вместо однозондовых головок 1шт.

 6. Ход предметного столика 150×150 мм

 7. Диаметр рабочей поверхности столика 100 мм.

 8. Электрическое сопротивление изоляции измерительных цепей не менее  однозондовых головок 5мОм

9. Максимальная электрическая мощность, потребляемая от сети 0,5кВт

10. Диапазон регулирования шага перемещений предметного стола с дискретностью 0,01 мм — 0,5…9,99

11. Погрешность перемещений предметного стола — ±0,012 мм

12. Ход зонда в однозондовой головке не менее:

      а) по оси зондовой головки — 2,5 мм

      б) перпендикулярно оси зондовой головки — 1,5 мм

      в) по вертикали — 2,0 мм

13. Наименьшее расстояние между осями 2-х соседних зондов — 0,2 мм.

14. Усилие нажатия зонда на проверяемую платину при перемещении его контактирующей точки на 0,1 мм — 0,07±0,01Н