Полуавтомат скрайбирования пластин «Алмаз — М — ЭС», предназначенный для скрайбирования полупроводниковых пластин диаметром до 80 мм и ситаловых подложек с размерами до 60×48 мм (с нанесёнными схемами или без них), двумя резцами на элементы прямоугольной формы.
Технические данные.
1. Питание от сети переменного тока:
А) Напряжение — 220 В
Б) Частота — 50 Гц
2. Вакуумная магистраль с давлением, не более 250 мм. рт. ст.
3. Максимальная потребляемая электрическая мощность 0,25 кВА
4. Электрическое сопротивление изоляции цепей питания относительно корпуса полуавтомата, не менее 20 мОм
5. Изоляция электрических цепей питания полуавтомата выдерживает без пробоя действия испытательного напряжения промышленной частоты 2 кВ.
6. Максимальная величина хода подачи 85 мм.
7. Величина хода скрайбирования от 20 мм до 100 мм
8. Шаг скрайбирования от 0,01 до 9,99 двумя резцами дискретностью 0,01 мм, от 0,02 до 19,98 с дискретностью 0,02 мм, от 0,04 до 39,96 с одним резцом с дискретностью 0,04 мм.
9. Усилие нагружения резца от 0,1 до 2,5 Н (от 10 до 250 гс)
10. Отклонение действительной величины шага скрайбирования ±0,005 мм
11. Отклонение от перпендикулярности линий реза на длине 80 мм, не более 0,006 мм
12. Наибольшая накопленная погрешность шага скрайбирования на длине 80 мм, не более 0,01 м
13. Скорость подачи, не менее 4 мм/сек
14. Скорость перемещения резцовой головки с плавной регулировкой в пределах от 20 до 75
15. Габаритные размеры:
Длина — 600 мм
Ширина — 700 мм
Высота — 620 мм
16. Масса не более 30 кг.