1.      Установка предназначена для операции нанесения плёнок фоторезистов ФП-9120  ТУ 6-36-00210134-121-0-96 и ФП-2550 толщиной 0,5…5 мкм методом распыления азотом или воздухом  при  производстве кварцевых чувствительных элементов.

2. Установка применяется автономно.

3. Установка поставляется исполнения  УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15150-69.

4.  Питание установки осуществляется от сети переменного тока 220 В, 50 Гц с нормами качества электрической энергии по ГОСТ13109-67. Максимальный потребляемый установкой ток по фазам не более 5 А.

5. Установка обеспечивает работу при подаче азота газообразного сорт 2  ГОСТ 9293-74 давлением 0.5*105¸3*105 Па (0.5¸3 кгс/см2 ), точка росы минус 60 оС и  очищенного сжатого воздуха при давлении (0.5...3)х105 Па(0.5...3) кгс/см2, точка росы минус 60 оС;

6. Для размещения установки на месте её эксплуатации необходимы:

     - площадь 6 м2 без фундамента.

     - вытяжная вентиляция с расходом воздуха не менее 600  м3/ч.

     - контур заземления.

                     ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ.

·         Питание установки…………………………………………………….220В, 50Гц

·         Распыляемое вещество: ………..……………..жидкости с вязкостью от 1 до 17 сантипуаз

·         Средний диаметр капель, мкм., не более ….………………………………..0.5-2

·         Вероятность попадания размера капли в интервал от 0.5 мкм до 10 мкм, % ………………………………………………………………………………….99,9

·         Максимальная производительность распыления фоторезиста, мл/с..........1,2

·         Количество пластин, обрабатываемых за один цикл, шт. …….……………..4

·         Размеры обрабатываемых пластин, мм……………….23x25x0.25, 23x25x0.35, 23x25x0.4

·         Количество кассет с пластинами, устанавливаемых на центрифугу, ...……….1

·         Количество пластин в кассете, шт. ……………………………………………………………….4

·         Максимальная частота вращения карусели об/мин………………………………..100

·         Количество подаваемых (неагрессивных) газов, шт.……………………………………2

·         Максимальный расход подаваемых рабочих газов по каждому  каналу, л/час..10

·         Давление подаваемых газов на входе в установку, атм.……………………..0.5...3

·         Тип газов, подаваемых в камеру при работе…………………………........азот, воздух

·         Управление технологическим процессом……………….  ……………..автоматическое

·         Толщина нанесения пленок фоторезиста, мкм…………………………………..0.8-5

·         Диапазон времени распыления установки, мин……..………………………….до 5

·         Максимально достижимая неравномерность толщины распыляемых пленок

при полном соответствии фоторезиста и подаваемых газов техническим условиям, %  ±5