Назначение.

             Полуавтомат нанесения фоторезиста предназначен для нанесения фоторезиста на подложки диаметром до 130 мм., методом центрифугирования плёнки фоторезиста, как в ручном так и в режиме полуавтомат.

              На столики центрифуг устанавливаются пластины (поликоровые, ситаловые или кремневые) с панели оператора задаём нужную скорость и контроллер через цифровой аналоговый преобразователь подаёт на вход блока управления тиристорами сигнал который является сигналом для открытия тиристоров, что позволяет регулировать скорость вращение электро двигателей. После того как двигатель начал выдавать необходимую скорость с дозатора происходит впрыск нужной дозы фоторезиста.

Автомат применяется автономно. Автомат предназначен для работы при температуре воздуха  от +10°С до +35°С при атмосферном давлении 84,0-106,7 кПа,630-800 мм. рт. ст. и относительной влажности 65-80% при 20°С

При эксплуатации полуавтомат должен подсоединён:

- к системе вытяжной вентиляции с расходом воздуха не менее 0,13 м3/с

- к вакуумной сети давлением не более 2,7 ·104 Па

- к контуру заземления

Основные технические характеристики.

1.      Питание полуавтомата осуществляется от сети переменного тока напряжением 380В частоты 50Гц.

2.      . Габаритные размеры и масса не более:

- длина – 1000 мм.

- ширина – 1210 мм

- высота – 1650 мм

- масса – 450 кг

3.      Максимальная электрическая мощность, потребляемая полуавтоматом, не более 1,3 кВт.

4.      Система управления полуавтомата обеспечивает регулирование скорости вращения центрифуг в диапазоне 300…8000об/мин  и поддержание заданного значения с точностью  ± 5 %  при нормированных колебаниях сети ± 15 % .

5.      Минимальное время достижения скорости вращения центрифуг до рабочего уровня (5000об/мин.) 0,3 сек ± 20%

6.      Расход воздуха, подаваемого в полуавтомат, не более 1м3 /час.

7.      Электрическая система полуавтомата обеспечивает блокировку включения центрифуг при падении вакуума на столиках центрифуг менее -0,4 мм рт. ст.

8.      Система управления полуавтомата обеспечивает работу в ручном и автоматическом режимах.

9.      Для выполнения процесса нанесения пленок в резервуары полуавтомата заливается фоторезист вязкостью до 5с.ст в количестве 0,5 литра в каждый.

10.  В полуавтомат подается под давлением 3…4 кгс/см2  воздух с содержанием влаги 100 мг/м3 , соответствующим точке росы при температуре -500 С.

11.  Степень очистки – 5 пылинок размером не более 0,7 мкм на литр подаваемого воздуха.